测量 MEMS 设备的各种关键尺寸，包括节距、宽度和挠曲、手指、梳子、圆弧、圆直径和中心位置的间距。由于对 MEMS 器件的要求多种多样，它们的尺寸范围可以从几微米到几毫米不等。

MEMS 设备的关键方面是它们包含移动组件。 MEMS 设备必须要么导致其组件之一移动，要么根据外部影响允许组件移动，然后感测该运动。

MEMS 设备的移动组件通常采用挠性件，并且运动检测通常涉及多组交错的“手指”或“梳子”。对于精确的运动和运动检测，了解挠性件和运动检测组件的尺寸至关重要。