数据存储挠性悬挂组件的检查需要极其准确和可重复的计量能力,以及诸如集成激光自动对焦、多功能照明、多倍放大和高度可编程功能等特殊功能。
对俯仰、滚动角、负载梁对称性/垂直度、凹坑高度/位置、平整度、凸台直径、轮廓和凸耳距离等因素的准确测量还需要灵活地在各个过程中的步骤以及在最终检验。